趙熙來把手機扣回桌面的聲響,還沒在小會議室里散盡。
陳平放已經(jīng)在芯火實驗室的門口刷完了權(quán)限。
門禁感應(yīng)燈由紅轉(zhuǎn)綠,厚重的隔音門向內(nèi)推開,冷氣撲面而來。
蔣帆就站在里頭,白大褂沒來得及換,上面還有幾處擦不掉的冷卻液漬。
“主任來了?!?br/>陳平放走進(jìn)去,把門帶上,沒有多余的寒暄。
“陸淵在哪兒?”
“實驗室最里面,在跑第十七組參數(shù)。”蔣帆側(cè)身,“要叫他過來?”
“叫過來,把核心組的人也一起叫來,三分鐘之內(nèi)?!?br/>蔣帆轉(zhuǎn)身,走廊里的腳步聲很快。
陳平放把外套搭在椅背上,站在實驗臺旁邊,把桌面上一疊檢測報告隨手拿起來翻了翻。
數(shù)據(jù)密密麻麻,但陳平放看得懂重點。
逐光一號第十七組參數(shù)的光源穩(wěn)定性,比上周提高了將近一個量級。
這個數(shù)字,如果公開出來,足夠讓趙家那一套“芯火即將停擺”的輿論,瞬間崩成廢紙。
但不能公開。
這張牌,要留到博覽會上。
三分鐘不到,蔣帆帶著陸淵和另外兩名核心組成員走了進(jìn)來。
陸淵二十八歲,光學(xué)工程博士,手上還拿著一個數(shù)據(jù)記錄本,顯然是直接從設(shè)備旁邊過來的。
陳平放掃了一眼在場的五個人。
“我說的話,今天在這個房間里結(jié)束,不出這道門?!?br/>沒人出聲,但每個人都挺直了背。
“逐光一號現(xiàn)在的真實進(jìn)度,你們自己清楚?!标惼椒虐褭z測報告放回桌上,“但對外,現(xiàn)在只有一個版本~瓶頸沒突破,資金鏈告急,隨時可能停擺?!?br/>蔣帆點頭,沒有質(zhì)疑。
“從今天起,所有EUV光源系統(tǒng)的核心數(shù)據(jù),全部進(jìn)行加密備份,服務(wù)器斷網(wǎng)隔離,密碼只有我和蔣工兩個人有?!?br/>陳平放往前走了一步,在陸淵面前停下來。
“陸淵,你負(fù)責(zé)把最新的參數(shù)集整理成一套完整的技術(shù)檔案,只存在物理介質(zhì)上,三份備份,分別存放在三個地方,地點你來定,告訴我就行?!?br/>陸淵把記錄本收緊,“我今晚就整理完?!?br/>“好?!标惼椒胖匦聮哌^其他人,“另外,蔣工,從現(xiàn)在開始,每天繼續(xù)正常加班,實驗室的燈要亮,設(shè)備要開,外頭的人看進(jìn)來,要覺得你們還在死磕瓶頸。”
蔣帆扶了扶眼鏡,嘴角動了動。
“這個我們能做到,但……主任,有一件事想說?!?br/>“說。”
“最近兩周,來實驗室外圍參觀的訪客多了很多?!笔Y帆把聲音壓低了幾分,“以前一周頂多兩三批,最近差不多每天都有,名義上都是考察合作意向的企業(yè)代表。”
陳平放把那個細(xì)節(jié)壓在心里,沒有立刻接話。
訪客增加,時間節(jié)點偏偏卡在省報那篇報道之后。
這個時間差,耐人尋味。
“名單有沒有留?”
“前臺有記錄,但審核走的是對外合作部,實驗室這邊不是第一道關(guān)口?!笔Y帆頓了一下,“有兩批,進(jìn)到了實驗室中區(qū)走廊?!?br/>中區(qū)走廊,和核心區(qū)隔著一道雙重門禁。
按照規(guī)定,中區(qū)走廊是不能進(jìn)入任何機密區(qū)域的。
但是走廊本身,是對著實驗室的玻璃幕墻的。
里面的設(shè)備布局,用肉眼的話能看到個大概的情況。
陳平放在腦子里把這件事過了一遍,心里對這個情況有些擔(dān)心,但沒有立刻表態(tài),只是轉(zhuǎn)向了陸淵。
“你剛才說第十七組參數(shù),跑出什么結(jié)果了?”
陸淵翻開記錄本,用手指指向最后兩頁。
“這一組的光源脈沖頻率,穩(wěn)定在了13.5納米這個數(shù)值,持續(xù)了七十二小時都沒有出現(xiàn)衰減,而且出現(xiàn)了一個之前從來沒有出現(xiàn)過的現(xiàn)象?!?br/>陸淵把記錄本往前推了推,手指落在一組標(biāo)了紅圈的數(shù)據(jù)上面。
“功率轉(zhuǎn)換率,比原來設(shè)計的理論峰值,高出了整整21%?!?br/>這句話說完,蔣帆輕輕地呼出了一口氣,看起來他自己也是剛剛才確認(rèn)的,時間不長。
陳平放把那一頁數(shù)據(jù)從頭到尾看了一遍,沒有說話。
21%。
不是優(yōu)化,是量級的跨越。
意味著逐光一號在光刻機的實際應(yīng)用場景里,能比市面上任何國產(chǎn)方案都更接近商業(yè)化量產(chǎn)的門檻。
“這套數(shù)據(jù),是在什么條件下跑出來的?”
“光源腔體換了一批新的錫靶,配合我們自研的磁場約束模塊?!标憸Y回答得很快,“外部沒有辦法單純靠硬件仿制來復(fù)現(xiàn),核心參數(shù)是在我們自己的控制軟件上調(diào)出來的?!?br/>陳平放把記錄本還給陸淵,轉(zhuǎn)過身。
“好,這個結(jié)果,今天之前,有沒有跟任何外部人員提過只言片語?”
陸淵愣了一下,思路往回拉了一拉。
“……有一次,上周三,我在園區(qū)食堂,旁邊坐的是對外合作部的林工?!?br/>“他問了什么?”
“就是隨口問最近進(jìn)展怎么樣,我說在跑新的光源參數(shù),說到了錫靶。”
就這一句。
錫靶。
在半導(dǎo)體圈子里,這不是什么機密名詞。但放在這個時間節(jié)點,放在“芯火項目正在攻關(guān)EUV光源”這個背景下~
懂行的人,能從這一個詞反推出核心技術(shù)路線。
對外合作部,對外接待。上周已經(jīng)有兩批訪客進(jìn)了中區(qū)走廊。
陳平放把這幾個信息點在腦子里排了一遍,沒有讓它們停下來。
“林工,全名叫什么?”
陸淵說了一個名字。
陳平放把這個名字記住,轉(zhuǎn)向蔣帆。
“對外合作部的權(quán)限,從今天起,不能再踏進(jìn)實驗室中區(qū)走廊,任何理由都不行。訪客接待,全部挪到一樓展示廳?!?br/>蔣帆立刻點頭。
“還有一件事,人才培養(yǎng)的事情不能停?!标惼椒虐淹馓讖囊伪成先』貋恚Z調(diào)放緩了一分,“蔣工,陸淵,你們兩個在核心攻關(guān)的同時,各帶兩個年輕人進(jìn)來,全程參與,讓他們摸到第一手的數(shù)據(jù)?!?br/>蔣帆有些遲疑:“現(xiàn)在這個節(jié)骨眼,擴(kuò)大知情范圍……”
“不是擴(kuò)大知情范圍,是培養(yǎng)真正懂這套系統(tǒng)的人?!标惼椒虐言捊財?,“芯火不是一個項目,是一條線,這條線上,不能只有你們兩個人撐著?!?br/>蔣帆沉默了幾秒,沒有再反駁。
陳平放走向門口,在推門之前停下來,
“今晚,找機會把林工最近一個月的通訊記錄,走安全核查的流程調(diào)一下?!?br/>這句話說完,他推開門,走出了實驗室。
走廊的燈光把地面照得發(fā)白,腳步聲一下一下地回響。
陳平放把手機從口袋里取出來,撥出一個號碼,電話剛接通,第一句話直接壓進(jìn)去。
“張超,幫我查一個人,對外合作部,林工?!?
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第202章 技術(shù)突破,核心保密
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