@對(duì)于秦風(fēng)組建航天火箭研究所的請(qǐng)求,政務(wù)院很快就給出了回應(yīng)。
首長(zhǎng)同意了組建航天火箭研究所,隸屬于龍科院。
并且首長(zhǎng)特批了500萬用于組建航天火箭研究所的第一筆經(jīng)費(fèi)。
秦風(fēng)也沒有想到首長(zhǎng)居然如此信任自己,就連問詢這個(gè)環(huán)節(jié)都沒有,直接通過了審批。
而他不知道的是還有一個(gè)驚喜在等著他。
不到兩天的時(shí)間,就有一個(gè)消息從政務(wù)院辦公廳傳達(dá)給了他。
首長(zhǎng)計(jì)劃將一筆兩千萬的科研經(jīng)費(fèi)打到他們東北工業(yè)部的賬戶上,由秦風(fēng)自行安排。
也就是說他在今年又有了一筆兩千萬的自由經(jīng)費(fèi)。
聽到這個(gè)消息的時(shí)候,秦風(fēng)還是有些蒙圈的。
去年獲得了兩千萬的經(jīng)費(fèi),那是因?yàn)樾l(wèi)士-1多管自行火箭炮的原因讓龍國(guó)決定不采購蘇熊的BM-13喀秋莎自行火箭炮,省下了不少錢。
而現(xiàn)在這筆兩千萬的經(jīng)費(fèi)又是怎么回事呢?
難道這是東方一號(hào)項(xiàng)目的成功,所以給他的獎(jiǎng)勵(lì)?
秦風(fēng)實(shí)在是有些想不通,既如此那就不想了。
前腳剛把兩千萬給花完了,后腳又補(bǔ)充了進(jìn)來,他又可以自由布局一些重要項(xiàng)目了。
而驚喜還不止于此。
半島戰(zhàn)爭(zhēng)目前第四次戰(zhàn)役正在進(jìn)行。
前三次戰(zhàn)役當(dāng)中,志愿軍打出了龍國(guó)解放軍的威風(fēng),也讓全球各國(guó)都重新認(rèn)識(shí)了這支人民軍隊(duì)。
當(dāng)龍國(guó)外交部在新年又發(fā)表了一份呼吁全球同胞歸國(guó)建設(shè)的電報(bào)之后,又迎來了一次歸國(guó)浪潮。
東北這邊的好些個(gè)項(xiàng)目又即將補(bǔ)充進(jìn)來一批人才。
其中就包括了史紹熙、梁思禮等人。
史紹熙16年生人,35年考入北洋大學(xué)機(jī)械工程,45年公費(fèi)留英,在英吉利曼徹斯特大學(xué)研究生院深造,并在49年獲得了博士學(xué)位,后留英任教。
而他就是后來的龍國(guó)高校內(nèi)燃機(jī)專業(yè)的創(chuàng)建者。
主要研究的內(nèi)容就是流體力學(xué)、燃燒學(xué)、缸內(nèi)流動(dòng)、燃油霧化等等。
可以說他是龍國(guó)還有的內(nèi)燃機(jī)技術(shù)專家。
在看到他的時(shí)候,秦風(fēng)就已經(jīng)決定組建東北內(nèi)燃機(jī)研究所,專門研究汽油、柴油發(fā)動(dòng)機(jī)。
東北動(dòng)力總成制造廠則是專心于制造。
梁思禮24年生人,梁?jiǎn)⒊樱彩驱垏?guó)的導(dǎo)彈控制專家、火箭系統(tǒng)控制專家、導(dǎo)彈控制系統(tǒng)研制創(chuàng)造人之一。
歷史上他回國(guó)之后就曾參與過多種型號(hào)導(dǎo)彈、運(yùn)載火箭控制系統(tǒng)的研制、試驗(yàn)。
這樣的技術(shù)大拿肯定直接進(jìn)入新成立的火箭研究所。
除此他們兩人之外,在機(jī)械工程、冶金、化學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域都有人才加入。
對(duì)于龍國(guó)他們的回來解決了部分領(lǐng)域缺乏頂級(jí)人才的困境。
在這些領(lǐng)域的研究當(dāng)中,秦風(fēng)也不愁找不到項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人了。
唯一可惜的就是錢老、郭永懷這些超頂級(jí)的人才沒有回歸。
自己可是早就已經(jīng)向首長(zhǎng)們透露過這些信息了。
看來他們回國(guó)依舊不順利,否則早就回來了。
電子計(jì)算機(jī)研究所半導(dǎo)體器件研究小組的PN結(jié)型晶體管項(xiàng)目已經(jīng)進(jìn)展到了非常關(guān)鍵的階段。
秦風(fēng)在聽到這個(gè)消息后也來到了現(xiàn)場(chǎng),想要親眼看到PN結(jié)型晶體管的誕生。
當(dāng)他來到了現(xiàn)場(chǎng)的時(shí)候,見到了王大珩、王守武、黃昆他們。
也見到了龍國(guó)乃至是全世界首臺(tái)接觸式光刻機(jī)。
這臺(tái)GCA接觸式光刻機(jī)的占地面積差不多相當(dāng)于一個(gè)30平米的房間,算是最早進(jìn)行工業(yè)化生產(chǎn)的光刻機(jī)。
其分辨率大約在5-10微米之間,采用波長(zhǎng)436納米的高壓汞燈作為光源,用機(jī)械式定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)掩膜版與硅片的粗略對(duì)準(zhǔn)。
目前能夠處理一英寸的晶圓片。
盡管這種接觸式的光刻機(jī)導(dǎo)致良率不高,掩膜版的壽命也不長(zhǎng),但對(duì)于龍國(guó)來說這已經(jīng)是巨大的進(jìn)步了。
它的出現(xiàn)也直接奠定了龍國(guó)的晶體管制造從手工,走向了精密、可重復(fù)的工業(yè)化生產(chǎn)。
更是為之后的集成電路提供了最為關(guān)鍵的工藝支撐。
至于之后的接近式光刻機(jī)、投影式光刻機(jī)、DUV光刻機(jī)、EUV光刻機(jī)也一定會(huì)有的。
秦風(fēng)看到已經(jīng)準(zhǔn)備就緒的王守武等人后,便向他們點(diǎn)了下頭,示意他們可以開始了。
隨即王守武、黃昆他們便開始操控光刻機(jī)進(jìn)行生產(chǎn)。
王守武拿出了一塊表面經(jīng)過高拋光的晶圓片。
這塊硅片在高溫爐當(dāng)中通入了水蒸氣,在其表面生出了一層厚度均勻的二氧化硅。
然后他們還需要將這塊覆蓋了二氧化硅層的晶圓片涂上光刻膠,這也是極為關(guān)鍵的一步。
在一臺(tái)轉(zhuǎn)速達(dá)到了3000轉(zhuǎn)每分鐘的光刻膠涂布機(jī)的平臺(tái)上,一英寸的晶圓片高速旋轉(zhuǎn),隨即便開始滴涂液態(tài)的光刻膠。
它的原理就是通過高速的旋轉(zhuǎn),精密的形成一層薄而均勻的膠膜。
在所有人的注視下,很快晶圓片就停止了旋轉(zhuǎn),這也意味著這一步已經(jīng)完成了。
在這片晶圓片上已經(jīng)覆上了一層肉眼幾乎不可見的光刻膠。
隨即又送入到了前烘機(jī)當(dāng)中進(jìn)行軟烤,去除光刻膠當(dāng)中的溶劑,以便于下一步。
從這里就可以看出想要生產(chǎn)PN結(jié)型晶體管有多么復(fù)雜了。
接下來便是將這片處理好的晶圓片送入接觸式光刻機(jī)當(dāng)中進(jìn)行最關(guān)鍵的制造。
接觸式光刻機(jī)的原理就是將繪制了電路圖案的掩膜版與涂有光刻膠的硅片表面緊密接觸。
然后再用高壓汞燈進(jìn)行照射,光線就會(huì)透過掩膜版的透明部分,使相對(duì)應(yīng)的區(qū)域的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
這也是光刻機(jī)加工的第一步。
在完成了這一步后還需要進(jìn)行顯影。
就是將曝光過的晶圓片浸入特定的化學(xué)顯影液當(dāng)中。
對(duì)于正性光刻膠,被光照過的區(qū)域會(huì)被溶解掉,從而在光刻膠上精確地復(fù)制出掩模版的圖案,暴露出其下方的二氧化硅層。
到了這一步的時(shí)候光刻機(jī)的加工就已經(jīng)完成了。
看到這個(gè)已經(jīng)被刻上了圖案的晶圓片,所有人心中都松了一口氣。
因?yàn)樽铌P(guān)鍵的一步已經(jīng)完成了。
接下來就到了蝕刻機(jī)派上用場(chǎng)的時(shí)候了。
它的作用就是將沒有光刻膠保護(hù)的二氧化硅區(qū)域腐蝕掉,之后,用強(qiáng)酸的方式將剩余的光刻膠完全去除,最終得到結(jié)構(gòu)清晰的二氧化硅掩蔽層。
然后就是用擴(kuò)散法進(jìn)行摻雜,在N型晶圓片襯底上形成P型區(qū),從而構(gòu)成PN節(jié),這就是PN結(jié)型晶體管的由來。
到了這一步還沒有結(jié)束,接下來還需要進(jìn)行蒸發(fā)和金屬化。
用蒸發(fā)臺(tái)通過熱蒸發(fā)沉積金屬電極,形成晶體管的接觸點(diǎn)。
然后再用電鍍?cè)O(shè)備形成金屬連接。
最后一步就是封裝了。
用密封機(jī)將晶體管封裝到外殼當(dāng)中,并提供保護(hù)和引腳的連接。
這就是整個(gè)PN結(jié)型晶體管的加工過程。
從沙子到成型,一共需要經(jīng)歷超過百道工序。
這一幕也讓秦風(fēng)看的緊張不已。
一直到看到成品之后,懸著的心才算落了一半。
之所以是一半,是因?yàn)榫w管還未經(jīng)過示波器進(jìn)行檢測(cè),通過了示波器的檢測(cè)之后才算完成所有工序。